Chiller 雙變頻

半導體chiller 半導體溫控裝置Chiller

溫控精度±0.1℃
溫度范圍-45℃~90℃
泵壓力6bar max
內循環(huán)液容積8L
電源 220V 50/60HZ

半導體投入大，制造工序多，為了提高產品的良品率、確保收益，需要在半導體的每個環(huán)節(jié)進行質量把控，影響產品質量的其中一個重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產品保駕護航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設備機臺直接配套經(jīng)驗，我們?yōu)榘雽w客戶提供標準產品及用戶定制產品、溫度控制技術的專業(yè)知識以及全球化服務，有助于滿足您從鑄錠到測試的半導體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號	FLTZ-203W/2T雙系統(tǒng)		FLTZ-305W/2T 雙系統(tǒng)		FLTZ-406W/2T 雙系統(tǒng)
溫度范圍	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備）
流量/壓力 MAX	15~45L/min 6bar
制熱	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3.5kW	3.5kW
制冷量	3kW at-15℃	3kW at-15℃	5kW at-15℃	5kW at-15℃	2.5kW at -35℃	2.5kW at -35℃
內循環(huán)液容積	5L		8L		8L
膨脹罐容積	15L		25L		25L
導熱介質	氟化液、防凍液、導熱硅油等
制冷劑	R404A/ R448
導熱介質接口	Rc3/4
冷卻水接口	Rc3/4
冷卻水	50L/min at20℃		60L/min at20℃		50L/min at20℃
電源	三相220V / 三相400V /三相460V
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫）