冷凍機(jī)-工業(yè)冷凍機(jī)-高低溫一體機(jī)
半導(dǎo)體Chiller設(shè)備溫控技術(shù)在晶圓制造工藝中的應(yīng)用實(shí)踐
202在晶圓制造過程中，半導(dǎo)體Chiller設(shè)通過制冷與加熱的動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)，為晶圓制造各環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境，其核心作用是維持工藝過程中溫度的準(zhǔn)確控制，避免因溫度波動(dòng)導(dǎo)致的圖形轉(zhuǎn)移偏差、薄膜均勻性下降等問題。
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在晶圓制造過程中，半導(dǎo)體Chiller設(shè)通過制冷與加熱的動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)，為晶圓制造各環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境，其核心作用是維持工藝過程中溫度的準(zhǔn)確控制，避免因溫度波動(dòng)導(dǎo)致的圖形轉(zhuǎn)移偏差、薄膜均勻性下降等問題。
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