光刻工藝溫度控制chiller應(yīng)用案例

2025年2月27日 231

光刻工藝是半導(dǎo)體制造中其中溫度控制對于確保光刻膠的均勻性和光刻過程的穩(wěn)定性影響比較大。以下是一些光刻工藝中溫度控制Chiller的應(yīng)用案例： 案例一：光刻膠儲(chǔ)存和處理的溫度控制 應(yīng)用描述：光刻膠對溫度非常敏感，其化學(xué)活性和粘度會(huì)隨溫度變...

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晶圓制造領(lǐng)域控溫chiller應(yīng)用案例

2025年2月27日 239

在晶圓制造領(lǐng)域，晶圓制造領(lǐng)域控溫chiller的應(yīng)用比較重要，因?yàn)闇?zhǔn)確的溫度控制能夠確保晶圓加工過程中的質(zhì)量和產(chǎn)量。以下晶圓制造領(lǐng)域控溫chiller是一些具體的應(yīng)用案例： 案例一：光刻過程中的溫度控制 應(yīng)用描述：光刻是晶圓制造中的關(guān)鍵步驟，需...

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刻蝕工藝溫控裝置chiller應(yīng)用案例

2025年2月26日 273

刻蝕工藝是半導(dǎo)體制造過程中的步驟之一，它涉及使用化學(xué)或物理方法去除硅片上的特定材料層。在這個(gè)過程中，準(zhǔn)確的刻蝕工藝溫控裝置chiller對于確保刻蝕質(zhì)量和生產(chǎn)效率比較重要。 案例一：集成電路（IC）制造中的刻蝕 應(yīng)用描述：在集成電路（IC）...

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存儲(chǔ)芯片封裝廠對芯片封裝循環(huán)測試chiller的需求

2025年2月26日 228

存儲(chǔ)芯片封裝廠對芯片封裝循環(huán)測試chiller的需求圍繞溫度控制精度、穩(wěn)定性、工藝適配性展開，具體體現(xiàn)在以下關(guān)鍵維度： 一、高精度溫控能力 1、±0.1℃級控溫精度 存儲(chǔ)芯片封裝過程中，材料固化、引腳焊接等環(huán)節(jié)對溫度敏感。 2、HBM（...

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ZLTZ直冷控溫機(jī)組Chiller

2024年11月25日 1172

ZLTZ直冷控溫機(jī)組Chiller適合應(yīng)?于微通道反應(yīng)器、板式換熱器、冷板、熱沉板、管式反應(yīng)器等換熱?積?、制冷量?、溫差?的控溫需求場所；設(shè)備可?動(dòng)回收導(dǎo)熱介質(zhì)；

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