MEMS傳感器控溫老化設(shè)備的溫度調(diào)控與長(zhǎng)期耐久性測(cè)試方法研究

2025年8月14日 131

MEMS 傳感器作為一種微型化的智能器件，廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、汽車(chē)電子、制藥設(shè)備等領(lǐng)域。其微小的結(jié)構(gòu)尺寸和工作原理，使其對(duì)溫度變化要求較高，長(zhǎng)期使用中的溫度波動(dòng)可能導(dǎo)致性能漂移甚至功能失效。MEMS傳感器控溫老化設(shè)備通過(guò)構(gòu)建準(zhǔn)確的溫度控制環(huán)境，模擬器件在實(shí)...

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