Chiller冷熱雙路控溫機組

適用范圍

?于120℃?溫供熱?燥，另?側25℃冷卻捕集?途，輕松搭建由（夾套罐體+冷凝器+負壓系統(tǒng)）構建廢液回收系統(tǒng)?于廢液回收升華控溫，另?側25℃冷凝捕集整體能效優(yōu)于4.5。

全國服務熱線 400-100-3163

產品特點

Product Features

產品參數

Product Parameter

型號	LTH-25
溫度范圍	熱側 80℃~125℃	冷側 -15℃~30℃
控溫精度	±0.5℃
制熱量	?60kW @120℃	35kW@10℃
控制器	可編程PLC
變頻器	ABB變頻器
壓縮機	渦旋壓縮機
輸入/顯示	7寸彩色觸摸屏/PLC控制器
通信	Modbus RTU協(xié)議RS485接口、以太網TCP/IP協(xié)議
換熱器	板式換熱器
系統(tǒng)介質	乙二醇水溶液
接口尺寸	DN40 PN16
安全保護	具有自我診斷功能；冷凍機過載保護；高低壓保護，過載繼電器、熱保護裝置、排吸氣溫度保護、傳感器故障保護等安全保障功能.。
電源	380V 50HZ?? 斷路器63A

行業(yè)應用

APPLICATION

半導體FAB工藝過程控溫解決方案

半導體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確，從而提高芯片的性能和良率。

半導體封測工藝過程控溫解決方案

半導體封測工藝是半導體生產流程中的關鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產品的質量和性能。

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