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冠亞恒溫有豐富的半導體封測行業(yè)產(chǎn)品研發(fā)經(jīng)驗，豐富的產(chǎn)品線滿足行業(yè)各種控溫需求。
產(chǎn)品包括：Chiller制冷加熱系統(tǒng)，Chiller制冷循環(huán)器，換熱控溫單元，直冷機，Chiller氣體控溫，chamber試驗箱等產(chǎn)品。
SOLUTION
半導體封測工藝是半導體生產(chǎn)流程中的關鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的準確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
冠亞恒溫LNEYA提供豐富控溫方式，有直冷、液冷、氣冷三種形式，滿足封測工藝復雜嚴苛控溫需求。
FLTZ變頻Chiller
—單通道 Single Channel Chiller
單通道Chiller溫度范圍：-100~+90℃，主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度準確控制，司在系統(tǒng)中應用多種算法，實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
LTZ變頻系列Chiller
—壓縮機復疊制冷，溫度低至-115℃
冠亞恒溫制冷循環(huán)器Chiller溫度范圍從-115℃到30℃，采用二次過冷技術，制冷迅速。產(chǎn)品可靠性強，性能優(yōu)異。
真空控溫卡盤Chuck
—8寸卡盤、12寸卡盤、冷板
冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，F(xiàn)ID調(diào)節(jié)控溫；支持直冷、液冷、?冷；
Chiller換熱型
—無壓縮機換熱機組
冷卻水溫度5℃~+90℃，采用ETCU無壓縮機換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等，可以有效減少設備尺寸，減少操作步驟
接觸式高低溫測試機
—芯片設計、芯片生產(chǎn)過程測試
設備應?溫度范圍-75~+200℃，?持從極低溫到?溫的快速升溫和降溫，最快速率可達到75℃/min，能夠準確的控制溫度，誤差通常在±0.2℃以內(nèi)。
ZLJ系列直冷機
—可運用于?體捕集
將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進??標控制元件（換熱器）換熱，從?使?標控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體（?體）輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上，這樣特別適?于換熱器換熱?積?，但是換熱量?的運?場所。
ZLTZ高效換熱控溫機組
—高效換熱，可?動回收導熱介質(zhì)
ZLTZ控溫機組與微通道反應器組合成?放熱量控溫運?，同流量?況下相對于導熱油換熱控溫傳熱效率5倍以上，同時進出?溫差?，溫度場均勻性?，特別適合劇烈放熱反應的應?；
芯片老化測試箱Chamber
—芯片高低溫老化設備
通過準確控制溫度、濕度等環(huán)境參數(shù)，模擬芯?在實際使?中可能遇到的?溫、?濕、?應?等極端條件，加速芯?的?化過程，通過這種?式，可以在短時間內(nèi)篩選出早期失效的芯?，優(yōu)化設計?案，提升產(chǎn)品良率
LQ系列氣體冷卻裝置
—低溫可達-110℃
應?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設備內(nèi)部，出來的?體即可達到?標低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。
AES系列熱流儀
—升降溫速率快，+150℃?-55℃低于10S
射流式?低溫沖擊測試機給芯?、模塊、集成電路板、電?元器件等提供準確且快速的環(huán)境溫度。是對產(chǎn)品電性能測試、失效分析、可靠性評估的儀器設備。
AET系列氣體快速溫變測試機
—可選擇控制出口氣體溫度和工藝目標過程溫度
壓縮空?進??體快速溫變測試機，內(nèi)置有?燥器，預先把?體?燥到露點溫度-70度以下，進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體，對?標對象進?控溫（如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等），可根據(jù)遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫，?動調(diào)節(jié)輸出?體的溫度。
AI系列循環(huán)風系統(tǒng)
—循環(huán)風高低溫恒溫測試
運?于半導體設備?低溫測試。電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源；獨?的制冷循環(huán)?機組；可連續(xù)?時間?作，?動除霜，除霜過程不影響庫溫；
Dryer氣體干燥器
—低露點?燥和清潔
應?于傳感器、半導體制造、薄膜和包裝材料執(zhí)照、粉狀物料運輸、噴涂系統(tǒng)、?品?業(yè)、制藥?業(yè)等需要實現(xiàn)-80℃低露點?燥和清潔的分布式?源。
負壓型溫控機組
—實現(xiàn)溫度波動≤±0.3℃
負壓型控溫系統(tǒng)通過負壓環(huán)境下的流體循環(huán)實現(xiàn)準確溫度控制，原理：通過負壓發(fā)?器驅(qū)動導熱介質(zhì)（?/油）循環(huán)，避免泄漏?險，適?于各種類型板卡冷卻。
冷凍機-工業(yè)冷凍機-高低溫一體機
