1. 全站搜索

          三通道系列 Triple Channel Chiller

          三通道系列 Triple Channel Chiller

          適用范圍

          FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制,系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫,每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質流量等。

          公司在系統(tǒng)中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度,加載情況下控溫精度可達±0.1C,可在-20℃~+100℃之間任意切換,具有良好的溫度跟隨性。

          全國服務熱線 400-100-3163

          型號 FLTZ-203W/ETCU-008W
          管道 通道1 通道2 通道3
          溫度范圍 -10℃~+60℃ +30℃~+80℃ -10℃~+80℃
          溫度穩(wěn)定度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
          冷卻能力 4kW@-10℃/21kW@+20℃ 6 kW@+30℃ 3kW@-10℃
          加熱能力 4kW 4.5+6kW 3kW
          流量/壓力 MAX 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa
          導熱介質接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
          環(huán)境溫度 10~35 ℃ 10~35 ℃ 10~35 ℃
          環(huán)境濕度 30~70% 30~70% 30~70%
          冷卻水溫度 15~20℃ 15~20℃ 15~20℃
          冷卻水流量 30L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃
          斷路器 100A
          ?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度
          重量 600kg
          外形尺寸 cm 60*100*170

           

          型號 FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
          管道 通道1 通道2 通道3
          溫度范圍 -20℃~+50℃ +30℃~+100℃ +30℃~+40℃
          溫度穩(wěn)定度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
          冷卻能力 15kW@-10℃ 13kW@PCW+15℃ 8kW@PCW+10℃
          加熱能力 2kW 6kW Pump Heat Loss
          流量/壓力 MAX 30L/min 0.85MPa 30L/min 0.85MPa 20L/min 0.8MPa
          導熱介質接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
          環(huán)境溫度 10~35 ℃ 10~35 ℃ 10~35 ℃
          環(huán)境濕度 30~70% 30~70% 30~70%
          冷卻水溫度 15~20℃ 15~20℃ 15~20℃
          冷卻水流量 30L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃
          斷路器 75A
          ?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度(動態(tài)控溫)
          重量 600kg
          外形尺寸 cm 60*100*170

           

          行業(yè)應用

          半導體FAB工藝過程控溫解決方案

          半導體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程,許多工藝步驟對溫度非常敏感。

          精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確,從而提高芯片的性能和良率。

          半導體封測工藝過程控溫解決方案

          半導體封測工藝是半導體生產(chǎn)流程中的關鍵環(huán)節(jié),包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性,還需要對溫度進行嚴格控制,以確保產(chǎn)品的質量和性能。

              
              

                1. 九九综合九九,婷婷天堂网,午夜福利爽 | 蜜桃一二三四电影,成年人污污视频,老司机伊人网 | 精品久久久无码中文字幕,欧美黑人╳╳ⅹ╳高潮猛交看,大香蕉操逼录像视频 | 在线免费观看成人小视频,一级片看看,国产女主播喷水视频在线观看 | 国产日韩欧美一区二区三区真人,99热免费在线观看,久操视频免费 |