一、溫度范圍覆蓋：從苛刻低溫到高溫的全場景適配
半導(dǎo)體工藝的溫度需求跨度較大，從蝕刻環(huán)節(jié)的超低溫到芯片老化測試的高溫環(huán)境，Chiller設(shè)備需具備寬域溫度調(diào)節(jié)能力，且能在特定區(qū)間內(nèi)保持穩(wěn)定輸出。
針對低溫需求工藝，Chiller設(shè)備通過復(fù)疊式制冷技術(shù)實現(xiàn)低溫控制。該技術(shù)將多個壓縮機制冷循環(huán)串聯(lián)，通過熱量逐級傳遞實現(xiàn)低溫度輸出，可覆蓋從低溫到常溫的溫度區(qū)間。這種設(shè)計能滿足刻蝕過程中對晶圓表面溫度的準確控制，避免因局部溫度波動導(dǎo)致的刻蝕精度偏差。而對于高溫需求場景，在半導(dǎo)體高溫測試，專用Chiller設(shè)備通過壓縮機制熱與電加熱結(jié)合的方式，可實現(xiàn)高溫介質(zhì)溫度輸出，且通過特殊工藝設(shè)計確保高溫下的控溫穩(wěn)定性，滿足芯片在苛刻溫度下的性能驗證需求。
此外，部分工藝需要在流程中實現(xiàn)溫度的快速切換，Chiller設(shè)備通過優(yōu)化制冷與加熱系統(tǒng)的切換邏輯，配合換熱器設(shè)計，可在短時間內(nèi)完成較大幅度的溫度調(diào)整，滿足工藝對溫度變化速率的要求。這種靈活的溫度調(diào)節(jié)能力，使得單一設(shè)備可適配多步驟工藝的溫度需求，減少設(shè)備更換帶來的問題。
二、控溫精度保障
不同半導(dǎo)體工藝對溫度精度的要求有所差異，Chiller設(shè)備通過多層級的控制技術(shù)實現(xiàn)精度分級適配?；A(chǔ)控溫層面，采用PID控制算法作為核心調(diào)節(jié)邏輯。該算法通過實時對比設(shè)定溫度與實際溫度的偏差，動態(tài)調(diào)整制冷量或加熱功率，使溫度波動控制在合理范圍以內(nèi)，滿足芯片封裝、一般性可靠性測試等工藝需求。對于更高精度要求的場景，在晶圓刻蝕，Chiller設(shè)備引入前饋PID與無模型自建樹算法結(jié)合的控制策略。
溫度均勻性同樣是控溫精度的重要組成部分。在晶圓處理等大面積控溫場景中，Chiller設(shè)備通過優(yōu)化循環(huán)液流道設(shè)計與流量分配，配合多點溫度傳感反饋，確保被控對象各區(qū)域的溫度差異控制在較小范圍內(nèi)。
三、工藝適配設(shè)計：針對場景特性定制化的解決方案
不同半導(dǎo)體工藝的運行環(huán)境、介質(zhì)需求及負載特性存在差異，Chiller 設(shè)備通過結(jié)構(gòu)優(yōu)化與功能定制，實現(xiàn)與工藝場景的準確匹配。在介質(zhì)兼容性方面，Chiller設(shè)備根據(jù)工藝中使用的導(dǎo)熱介質(zhì)特性設(shè)計流道與材質(zhì)。針對特殊的蝕刻工藝，設(shè)備內(nèi)部管路采用耐腐蝕材料，避免介質(zhì)腐蝕導(dǎo)致的性能變化；而對于純水介質(zhì)的清洗工藝，通過全密閉循環(huán)系統(tǒng)設(shè)計，防止水質(zhì)污染與微生物滋生，同時避免低溫下結(jié)凍問題。這種材質(zhì)與結(jié)構(gòu)的定制化設(shè)計，確保 Chiller 設(shè)備在不同介質(zhì)環(huán)境下的穩(wěn)定運行。針對多工藝并行場景，多通道Chiller設(shè)備通過單獨控溫系統(tǒng)設(shè)計，可同時為多個工藝環(huán)節(jié)提供溫度支持。每個通道具備單獨的溫度設(shè)定、流量調(diào)節(jié)及介質(zhì)循環(huán)能力，各通道間互不干擾。
半導(dǎo)體Chiller設(shè)備對不同工藝溫度需求的滿足，本質(zhì)上是技術(shù)多樣性與場景適配性的結(jié)合。隨著半導(dǎo)體制程的不斷升級，Chiller設(shè)備正通過更精細的溫度調(diào)節(jié)、更靈活的場景適配，持續(xù)為半導(dǎo)體制造提供可靠的溫度保障。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
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LTZ變頻系列低溫冷凍機組
適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機采用變頻技術(shù)，節(jié)約能耗，控溫范圍：-115℃～30℃，控溫精度：±0.5℃。變頻壓縮機組通過內(nèi)置變頻裝置隨時根據(jù)??冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運?轉(zhuǎn)速，從?避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，保持機組穩(wěn)定的?作狀態(tài)，達到節(jié)能效果。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Param…
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HLTZ系列氫氣高效換熱制冷機組
適用范圍 氫氣經(jīng)過內(nèi)高壓換熱器，制冷系統(tǒng)通過制冷劑直接與氫氣換熱，實現(xiàn)高效換熱控溫；設(shè)備本體采用正壓防爆系統(tǒng)，正壓系統(tǒng)內(nèi)置有恒溫器，確保系統(tǒng)環(huán)境維持在常溫。相對于傳統(tǒng)防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設(shè)備采用介質(zhì)為制冷系統(tǒng)制冷劑（相變熱），能效更高；內(nèi)置有可再生干燥機，確保正壓系統(tǒng)內(nèi)部干燥，沒有冷凝水；可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器（9…
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2度純水DI制冷控溫機組
適用范圍 特別適合生產(chǎn)過程中2℃~5℃DI水需求的應(yīng)用場景。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應(yīng)用 APPLICATION 新材料|特氣生產(chǎn)控溫解決方案 新材料，作為新近發(fā)展或正在發(fā)展的具有優(yōu)異性能的結(jié)構(gòu)材料和有特殊性質(zhì)的功能材料，其研發(fā)和生產(chǎn)過程對溫度控制有著…
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單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
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三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
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面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
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帕爾貼Chiller
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；
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FLTZH雙通道高溫Chiller
雙通道高溫Chiller?來滿?半導(dǎo)體?溫測試需求。介質(zhì)溫度最?可達250℃；以特殊的?藝?式，保證系統(tǒng)?溫?況下的控溫精度。
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ETCU換熱控溫單元
ETCU換熱控溫單元冷卻?溫度范圍：+5℃?+90℃，控溫精度±0.05℃；系統(tǒng)?壓縮機，通過換熱降溫；?持?標定制，?持PC遠程控制；采?西??/霍尼?爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻?流量；最?循環(huán)量時，控溫溫度與冷卻?溫度溫差15°C。
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LTZ變頻帶加熱系列
LTZ變頻帶加熱系列，產(chǎn)品支持加熱功能，控溫范圍： -40℃～+90℃，控溫精度：±0.3℃。變頻機組采?先進的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和?機運?轉(zhuǎn)速，通過電?膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。
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一、半導(dǎo)體Chiller設(shè)備的溫度控制原理
半導(dǎo)體Chiller設(shè)備的溫度控制基于閉環(huán)反饋調(diào)節(jié)機制，通過檢測 – 計算 – 執(zhí)行的循環(huán)實現(xiàn)目標溫度的穩(wěn)定。其核心構(gòu)成包括溫度傳感器、控制器、制冷系統(tǒng)與加熱系統(tǒng)：溫度傳感器實時采集工藝環(huán)境的溫度信號，傳輸至控制器后與設(shè)定值對比，控制器根據(jù)偏差值調(diào)節(jié)制冷或加熱輸出，當實際溫度高于設(shè)定值時，制冷系統(tǒng)啟動，通過制冷劑的相變吸熱降低溫度；當實際溫度低于設(shè)定值時，加熱系統(tǒng)通過壓縮機制熱或電加熱補充熱量。
二、半導(dǎo)體Chiller設(shè)備在晶圓制造關(guān)鍵工藝中的應(yīng)用
1、光刻工藝中的溫度控制
光刻工藝對溫度變化要求較高，光刻膠的涂布、曝光與顯影均需在穩(wěn)定溫度下進行。Chiller設(shè)備通過控制光刻膠涂布臺的溫度，確保膠層厚度均勻，若溫度波動過大，可能導(dǎo)致光刻膠黏度變化，引發(fā)涂層厚薄不均。在曝光環(huán)節(jié)，Chiller設(shè)備為掩模版與晶圓載臺提供恒溫環(huán)境，避免因熱脹冷縮導(dǎo)致的套刻精度偏差。其控溫精度可滿足光刻工藝對溫度穩(wěn)定性的要求，確保曝光圖形的尺寸一致性。
2、刻蝕工藝中的溫度控制
刻蝕過程中，反應(yīng)腔的溫度直接影響刻蝕速率與剖面形態(tài)。Chiller設(shè)備通過控制反應(yīng)腔壁與晶圓載臺的溫度，維持等離子體反應(yīng)的穩(wěn)定性：溫度過高可能導(dǎo)致刻蝕劑過度反應(yīng)，造成圖形過刻；溫度過低則會降低反應(yīng)效果，影響刻蝕效率。此外，Chiller設(shè)備的動態(tài)控溫能力可應(yīng)對刻蝕過程中的熱負載變化，當晶圓表面因等離子體轟擊產(chǎn)生熱量時，設(shè)備能快速調(diào)節(jié)制冷量，避免局部溫度升高導(dǎo)致的刻蝕均勻性下降。
三、半導(dǎo)體Chiller設(shè)備溫度控制的核心技術(shù)要求
1、控溫精度與穩(wěn)定性
晶圓制造工藝通常要求溫度控制精度在合理范圍以內(nèi)。Chiller設(shè)備通過成熟的控制算法實現(xiàn)這一要求：算法根據(jù)溫度變化趨勢提前調(diào)節(jié)輸出，減少滯后帶來的波動。同時，設(shè)備配備高精度溫度傳感器，結(jié)合實時數(shù)據(jù)采集與快速響應(yīng)的執(zhí)行機構(gòu)，確保在負載變化時仍能維持溫度穩(wěn)定。
2、溫度范圍與調(diào)節(jié)速率
不同工藝對溫度的需求差異較大，Chiller設(shè)備需覆蓋從低溫到高溫的寬區(qū)間?？涛g工藝需在低溫環(huán)境下進行，而薄膜退火則可能需要苛刻的高溫。此外，工藝切換時的溫度調(diào)節(jié)速率需匹配生產(chǎn)節(jié)拍，快速升降溫能力可縮短工藝準備時間，提高設(shè)備利用率。Chiller設(shè)備通過優(yōu)化制冷與加熱系統(tǒng)的功率配置，在保證控溫精度的前提下，實現(xiàn)溫度的快速切換。
3、介質(zhì)適應(yīng)性與系統(tǒng)安全性
晶圓制造中常用的導(dǎo)熱介質(zhì)包括硅油、乙二醇水溶液等，Chiller設(shè)備需根據(jù)溫度范圍選擇適配介質(zhì)：高溫場景則使用穩(wěn)定性更好的硅油，設(shè)備的循環(huán)系統(tǒng)采用耐腐蝕材料，避免介質(zhì)與管路反應(yīng)產(chǎn)生雜質(zhì)污染晶圓。同時，系統(tǒng)具備多重安全保護功能，防止因介質(zhì)泄漏或設(shè)備故障影響生產(chǎn)安全。
半導(dǎo)體Chiller設(shè)備通過準確、穩(wěn)定的溫度控制，為晶圓制造的各環(huán)節(jié)提供了基礎(chǔ)保障。其在控溫精度、溫度范圍與系統(tǒng)安全性上的設(shè)計，契合了晶圓制造對工藝環(huán)境的嚴苛要求。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息ZLTZ直冷控溫機組Chiller
ZLTZ直冷控溫機組Chiller適合應(yīng)?于微通道反應(yīng)器、板式換熱器、冷板、熱沉板、管式反應(yīng)器等換熱?積?、制冷量?、溫差?的控溫需求場所；設(shè)備可?動回收導(dǎo)熱介質(zhì)；
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
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ZLJ/SLJ系列超低溫直冷機
適用范圍 將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進??標控制元件（換熱器）換熱，從?使?標控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體（?體）輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上，這樣特別適?于換熱器換熱?積?，但是換熱量?的運?場所。 也可以如?體捕集運?，將制冷劑直接通?捕集器蒸發(fā)，通過捕集器表?冷凝效應(yīng)，迅速捕集空間中的?體。 …
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真空控溫卡盤Chuck
冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FID調(diào)節(jié)控溫；支持直冷、液冷、?冷；
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LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應(yīng)?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的?體即可達到?標低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出…
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AI系列循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)
適用范圍 運?于半導(dǎo)體設(shè)備?低溫測試。電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試冷熱源；獨?的制冷循環(huán)?機組；可連續(xù)?時間?作，?動除霜，除霜過程不影響庫溫； 模塊化設(shè)計，備?機替換容易（只要?臺備?機組即可）；解決頻繁開關(guān)?，蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題；蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。構(gòu)筑?套?低溫恒溫室變的簡單（根據(jù)提供的圖紙，像搭積??般拼接好箱體，連接好電和?，設(shè)…
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AET系列氣體快速溫變測試機
適用范圍 壓縮空?進??體快速溫變測試機，內(nèi)置有?燥器，預(yù)先把?體?燥到露點溫度-70度以下，進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體，對?標對象進?控溫（如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等），可根據(jù)遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫，?動調(diào)節(jié)輸出?體的溫度。 產(chǎn)品特點 Product Features …
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Dryer氣體干燥器
適用范圍 應(yīng)?于傳感器、半導(dǎo)體制造、薄膜和包裝材料執(zhí)照、粉狀物料運輸、噴涂系統(tǒng)、?品?業(yè)、制藥?業(yè)等需要實現(xiàn)-80℃低露點?燥和清潔的分布式?源。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應(yīng)用 APPLICATION 半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案 半導(dǎo)體封測工藝是…
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
詳細信息帕爾貼Chiller
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；
詳細信息品頁特點圖標-1.png)
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 設(shè)備型號 | KSD-705-A | KSD-705-B | KSD-710 | |
| 溫度范圍 | -70℃~+200℃ | -75℃~200℃ | -75℃~200℃ | |
| 溫度精度 | ±0.2℃ | |||
| 升降溫速率 | 最高達75℃/min | |||
| 制冷能力 | 0℃ | 800W | 1000W | 2000W |
| ?-40℃ | 500W | 800W | 1500W | |
| ?-55℃ | 300W | 450W | 900W | |
| 測試壓頭規(guī)格 | 75*75mm | 75*75mm | 120*120mm | |
| 溫度監(jiān)測類型 | T型/K型/PT100 | |||
| 控溫點位置 | Plunger 表面溫度 | |||
| 操控?板 | 7寸觸摸屏 | |||
| 控制器 | PLC可編程控制器，標配支持ModbuSRTU協(xié)議，RS485接口，可選擇其他通信協(xié)議 | |||
| 電源 | 200v~230v? 50hz/60hz | |||
| 設(shè)備外形尺?mm | 465*600*365 | 500*600*400 | 550*750*550 | |
| 測試件受?調(diào)節(jié) | 配置 Z軸氣動執(zhí)行器 | 配置 Z軸氣動執(zhí)行器 | 測試架外置氣缸 | |
| CDA要求 | 配置 LNEYA Dryer 氣體干燥器系列 | |||
| 通訊 | Madbus RTU /TCP 、Prfibus DP 、CAN 、Rrofinet | |||
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
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產(chǎn)品推薦
Recommendation
Semiconductor Chiller
適用范圍
冠亞恒溫LNEYA精密恒溫恒濕機組是?種能精準控制環(huán)境溫、濕度的空?調(diào)節(jié)設(shè)備，提供兩款設(shè)備型號，常規(guī)水冷款和迷你型風(fēng)冷款。
半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池板等設(shè)備的?產(chǎn)設(shè)施中使?的設(shè)備、?產(chǎn)流程、檢驗流程及空間，需要?度精確和穩(wěn)定的空?處理。為了滿?這些需求，全區(qū)域空?處理將需要極?的相關(guān)費?和維護成本。
機組采??品質(zhì)潔凈型?機、潔凈型箱體、?藝，避免?次環(huán)境污染；可適配部分新?功能，更加?便滿?特殊使?環(huán)境的暖通要求，?能滿??藝要求；常年?作，可靠性更?。
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
精密恒溫恒濕機組（水冷）
該機組也可?在制藥?、醫(yī)院、實驗室等?潔凈度要求且?精度溫、濕度要求的場所，能保持溫、濕度恒定在?個設(shè)定的范圍內(nèi)，波動范圍很?。
1、溫度和濕度控制可適用于不同的設(shè)定溫度下，亦可以在一個固定的使用溫、濕度下恒定工作。
2、機組可以根據(jù)實際情況，配比一定的新風(fēng)量以滿足暖通新風(fēng)要求。
3、精密型恒溫恒濕機組使用新、回風(fēng)溫濕度范圍。
4、在最大額定工藝風(fēng)量下運行時，送風(fēng)機出口側(cè)空氣出口處的恒定靜壓；也可以根據(jù)末端是否配置有FFU調(diào)整 5、40°f相當于的400ppm 的CaCO3 。
6、冷卻水水質(zhì)要求：不低于《工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設(shè)計規(guī)范》GB50050-95 7、送風(fēng)管道必須保溫處理，現(xiàn)場安裝盡可能的縮短管路長度， 有關(guān)可能的詳細信息，請參閱操作手冊。
| 產(chǎn)品型號 | LW-0090-BW01 | LWX-0090-BW01 | LW-0100-BW01 | LWX-0100-BW01 | |
| 額定處理風(fēng)量 | m3/h | 8000～9000 | 9000～10000 | ||
| 可設(shè)定溫濕度范圍 | ℃/ %RH | 22～24 | 22～23;45%RH～60%RH | 22～24 | 22～24；45%RH～70%RH |
| 溫度控制精度 | ℃ | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | |||
| 濕度控制精度 | %RH | / | ±1%RH | / | ±1%RH |
| 最大制冷量 | kW | 20kW @25℃ | 16kW @26℃ | ||
| 最大加濕能力 | Kg/h | / | 5 | / | 2.3 |
| 新風(fēng)比? ② | 20% | 20% | / | / | |
| 設(shè)備新風(fēng)溫、濕度范圍 | ℃/ %RH | 23±2℃；；45%～60%±2%RH | 25℃; 45%～60%±2%RH | ||
| 設(shè)備回風(fēng)溫、濕度范圍 | ℃/ %RH | 23±0.1；45%RH ±2%RH | / | ||
| 最大機外送風(fēng)靜壓 | Pa | 300～400 | 0～200 | ||
| 送風(fēng)口接管直徑 | mm | φ500 | φ500 | ||
| 加濕供水溫度范圍 | ℃ | / | 10～40 | / | 10～40 |
| 加濕補水管接口 | / | / | Rc1/2 | / | Rc1/2 |
| 加濕補水壓力值 | bar | / | 1～4 | / | 1～4 |
| 水質(zhì)要求 | / | / | *導(dǎo)電率75～1250μs/cm????? *水硬度不高于40°f????????? *無有機化合物 | / | *導(dǎo)電率75～1250μs/cm????? *水硬度不高于40°f???????? *無有機化合物 |
| 冷卻水溫度 | ℃ | 18～22 | 18～22 | ||
| 冷卻水接管 | Rc1 | Rc1 | |||
| 電源供應(yīng) | V/Hz | 3～380v±10%; 50Hz±5Hz??三相五線制 | |||
| 機組額定輸入功率 | kW | 12.5 | 12.5 | 4 | 4 |
| 機組運行最大電流值 | A | 23 | 23 | 7 | 7 |
| 機組噪音值 | dB(A) | ≤80 | ≤75 | ||
| 機組最大輸入功率 | kWA | 15 | 8 | ||
| 冷媒/充注量 | Kg | R410A/5 | R410A/4 | ||
| 安全保護功能 | 電源過欠壓、逆缺相保護； 電機過熱載保護；壓縮機排氣溫度過高保護、 系統(tǒng)高壓保護、系統(tǒng)低壓保護、溫度模塊故障保護、可調(diào)式超溫保護，風(fēng)機電機過熱保護等 | ||||
| 機組凈重 | Kg | 750 | 800 | 650 | 680 |
| 機組毛重 | Kg | 800 | 850 | 700 | 750 |
| 機組外形尺寸(L*B*H) | cm | 213*100*200 | 120*120*195 | ||
| 機組包裝尺寸(L*B*H) | cm | 230*115*210 | 135*135*205 | ||
迷你型精密恒溫恒濕機組
在?種專為局部?質(zhì)量空間提供?精度空?處理系統(tǒng)的設(shè)備，該系統(tǒng)能夠最?限度地減少對能源的使?。
| 產(chǎn)品型號 | LMW-01BS | LMWX-01BS | LMW-03BT | LMWX-03BT | |
| 額定處理風(fēng)量 | m3/min | 0.7～1.0 | 2.0～4.0 | ||
| 可設(shè)定溫濕度范圍 | ℃/ %RH | 21～26 | 21～26;45%RH～60%RH | 21～26 | 21～26；45%RH～60%RH |
| 溫度控制精度 | ℃ | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備） | |||
| 濕度控制精度 | %RH | / | ±1.0%RH | / | ±1.0%RH |
| 最大制冷量(50/60Hz） | kW | 0.2/0.25 | 0.37/0.45 | 1.3 | 1.3 |
| 再熱能力(50/60Hz） | kW | 0.1/0.13 | 0.4 | 0.5 | 0.7 |
| 最大加濕能力 | Kg/h | / | 0.8 | / | 2.3 |
| 加濕供水溫度范圍 | ℃ | / | 10～40 | / | 10～40 |
| 加濕補水管接口 | / | / | Rc1/2 | / | Rc1/2 |
| 加濕補水壓力值 | bar | / | 0.3～2 | / | 0.3～2 |
| 水質(zhì)要求 | / | / | *導(dǎo)電率125～1250μs/cm????? *水硬度不高于40°f???????? *無有機化合物 | / | *導(dǎo)電率125～1250μs/cm????? *水硬度不高于40°f????????? *無有機化合物 |
| 最大機外送風(fēng)靜壓 | Pa | 120/130 | 120/160 | 110/150 | 110/150 |
| 送風(fēng)口接管直徑 | mm | φ75 | φ100 | φ100 | φ100 |
| 設(shè)備使用環(huán)境溫度 | ℃/ %RH | 20～26；45%RH～60%RH | |||
| 使用環(huán)境溫度精度范圍 | ℃/ %RH | ±1；±5%RH | |||
| 電源供應(yīng) | V/Hz | 1～220v±10%; 50/60Hz±5Hz | 3～380v±15%; 50Hz±5Hz | ||
| 機組額定輸入功率 | kW | 0.32/0.34 | 1.2/1.2 | 0.75 | 2.7 |
| 機組運行最大電流值 | A | 1.7/1.82 | 6.4/6.4 | 1.35 | 4.8 |
| 機組噪音值(50/60Hz） | dB(A) | 54/56 | 58/60 | 65 | 66 |
| 機組最大輸入功率 | kWA | 0.34/0.38 | 1.5/1.5 | 1.4 | 4 |
| 冷媒/充注量 | Kg | R134A/0.13 | R407C/0.3 | R410A/0.4 | R410A/0.48 |
| 機組凈重 | Kg | 32 | 69 | 95 | 135 |
| 機組毛重 | Kg | 40 | 85 | 110 | 150 |
| 機組外形尺寸(L*B*H) | cm | 50*41.2*34.6 | 63*39*76.5 | 59*48*107 | 68*52*135 |
| 機組包裝尺寸(L*B*H) | cm | 60*50*40 | 75*50*85 | 70*60*120 | 78*65*140 |
1、溫度和濕度控制范圍并不一定代表實際可控制的范圍。實際可控制的溫度和濕度范圍取決于進氣溫度和濕度以及工藝風(fēng)量。根據(jù)操作環(huán)境設(shè)置工藝風(fēng)量。
2、對于M01/02系列，當進氣溫度和濕度穩(wěn)定時?？刂破魃巷@示的精度值僅適用于出口端的一點；同時是在最大額定風(fēng)量下運行時。 對于M03系列，在以額定工藝風(fēng)量（3 m3/min）運行時，開始運行后大約2分鐘內(nèi)，由于壓縮機 油回流，溫度會暫時波動。此外，如果目標濕度較高，并且根據(jù)加濕水供應(yīng)的時間不同，可能無法維持之前提到的精度。在這種情況下，通過調(diào)整與供水相關(guān)的參數(shù)，可以減少波動量。
3、在最大額定工藝風(fēng)量下運行時，送風(fēng)機出口側(cè)空氣出口處的恒定靜壓。
4、將產(chǎn)品插入專用插座以防止電壓下降，三相電源電壓相位不平衡應(yīng)小于±3 %。
5、在指定范圍內(nèi)最大工作電流下運行時。
6、冷卻水水質(zhì)要求：不低于《工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設(shè)計規(guī)范》GB50050-95；備注 40°f相當于的400ppm 的CaCO3 。 7、高度包括出口端。所示數(shù)值是在指定最大加濕水平運行時的。有關(guān)可能的詳細信息，請參閱操作手冊 備注：送風(fēng)管道必須保溫處理，現(xiàn)場安裝盡可能的縮短管路長度（最大長度不超過3m)
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
產(chǎn)品推薦
Recommendation
溫度參數(shù)是面板直冷機選型的基礎(chǔ)依據(jù)，需關(guān)注溫度控制范圍、調(diào)節(jié)精度及均勻性指標。不同型號設(shè)備的溫度覆蓋范圍存在差異，部分機型可實現(xiàn)較寬的溫度調(diào)節(jié)區(qū)間，而專項設(shè)備則聚焦特定溫度區(qū)間。針對晶圓加工中的工藝測試需求，相關(guān)設(shè)備的溫度均勻性控制嚴格，確保測試結(jié)果的一致性。溫度控制精度方面，主流機型有明確的精度標準，部分直冷型設(shè)備則有另一套精度標準，需根據(jù)工藝要求選擇適配型號。單一介質(zhì)控溫技術(shù)可實現(xiàn)連續(xù)調(diào)節(jié)，無需中途更換導(dǎo)熱介質(zhì)，適用于需要溫度連續(xù)變化的場景；而復(fù)疊制冷技術(shù)則能實現(xiàn)苛刻低溫，滿足特殊材料測試需求。
流量參數(shù)直接影響面板直冷機的換熱效率與溫度響應(yīng)速度，需根據(jù)散熱需求準確匹配。設(shè)備流量范圍覆蓋多個區(qū)間，流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)技術(shù)，可根據(jù)系統(tǒng)壓力與溫度自動適配流量輸出。選型時需計算目標設(shè)備的熱負荷需求，通常以制冷量為參考依據(jù)。同時需考慮管路阻力損失，長距離管路或復(fù)雜回路應(yīng)選擇流量調(diào)節(jié)范圍更大的機型。部分設(shè)備支持一拖多控制模式，一臺主機可連接多臺反應(yīng)裝置，需確?？偭髁糠峙錆M足各支路需求。
壓力參數(shù)是保障流量穩(wěn)定的關(guān)鍵原因之一，與系統(tǒng)密封性及管路設(shè)計密切相關(guān)。設(shè)備泵壓力有明確的標準，特殊場景可定制更高耐壓設(shè)備。壓力監(jiān)測通過傳感器實時反饋，顯示在操作界面上，便于及時發(fā)現(xiàn)管路堵塞或泄漏問題。選型時需核算整個循環(huán)系統(tǒng)的沿程阻力與局部阻力，確保泵出口壓力足以克服阻力損失。對于密閉循環(huán)系統(tǒng)，需關(guān)注膨脹罐容積參數(shù)，其作用是緩沖系統(tǒng)壓力波動，避免因溫度變化導(dǎo)致的壓力驟升。
參數(shù)匹配需參考溫度定類型、流量定規(guī)格、壓力定適配等因素，形成協(xié)同選型邏輯。不同場景如半導(dǎo)體芯片測試、大型服務(wù)器控溫系統(tǒng)等，對溫度范圍、控溫精度、流量和壓力的要求各有不同。載冷劑類型也會影響參數(shù)匹配，不同載冷劑適用于不同溫度場景，需確認設(shè)備兼容的載冷劑類型。
安裝環(huán)境對參數(shù)適配同樣重要，面板直冷機型需考慮冷卻水接口尺寸與流量，風(fēng)冷機型需確保安裝空間滿足散熱需求。通信協(xié)議兼容性也需納入考量，設(shè)備需支持主流協(xié)議，便于與工廠控制系統(tǒng)集成。
選型驗證需參考設(shè)備測試標準，所有的機型均經(jīng)過嚴格檢測及連續(xù)運行拷機，確保參數(shù)指標真實可靠?？梢筇峁┴撦d測試報告，驗證在額定工況下的溫度穩(wěn)定性、流量精度與壓力波動情況。售后服務(wù)方面，需確認安裝調(diào)試支持、操作培訓(xùn)及維修響應(yīng)時效，保障設(shè)備長期穩(wěn)定運行。
面板直冷機選型是一項系統(tǒng)工程，需在溫度、流量、壓力三大核心參數(shù)間找到合適平衡點。通過準確核算工藝需求、評估設(shè)備參數(shù)、嚴格驗證性能指標，才能選出適配的機型，為半導(dǎo)體制造與測試提供穩(wěn)定可靠的溫控保障，同時避免設(shè)備閑置或性能不足帶來的問題。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息ZLTZ直冷控溫機組Chiller
ZLTZ直冷控溫機組Chiller適合應(yīng)?于微通道反應(yīng)器、板式換熱器、冷板、熱沉板、管式反應(yīng)器等換熱?積?、制冷量?、溫差?的控溫需求場所；設(shè)備可?動回收導(dǎo)熱介質(zhì)；
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
詳細信息ZLJ/SLJ系列超低溫直冷機
適用范圍 將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進??標控制元件（換熱器）換熱，從?使?標控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體（?體）輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上，這樣特別適?于換熱器換熱?積?，但是換熱量?的運?場所。 也可以如?體捕集運?，將制冷劑直接通?捕集器蒸發(fā)，通過捕集器表?冷凝效應(yīng)，迅速捕集空間中的?體。 …
詳細信息真空控溫卡盤Chuck
冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FID調(diào)節(jié)控溫；支持直冷、液冷、?冷；
詳細信息LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應(yīng)?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的?體即可達到?標低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出…
詳細信息AI系列循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)
適用范圍 運?于半導(dǎo)體設(shè)備?低溫測試。電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試冷熱源；獨?的制冷循環(huán)?機組；可連續(xù)?時間?作，?動除霜，除霜過程不影響庫溫； 模塊化設(shè)計，備?機替換容易（只要?臺備?機組即可）；解決頻繁開關(guān)?，蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題；蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。構(gòu)筑?套?低溫恒溫室變的簡單（根據(jù)提供的圖紙，像搭積??般拼接好箱體，連接好電和?，設(shè)…
詳細信息
雙通道直冷機的核心原理在于將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出至目標控制元件的換熱器進行換熱，從而實現(xiàn)對控制對象的快速降溫。相較于傳統(tǒng)的流體或氣體換熱方式，其換熱的能力通?？捎兴嵘?，尤其適用于換熱面積小但換熱量大的場景。該設(shè)備采用雙系統(tǒng)設(shè)計，兩個單獨的制冷回路可分別針對不同測試工位進行溫度調(diào)控，每個通道均配備單獨的壓縮機、膨脹閥及溫度傳感器，確保溫控過程的單獨性與準確性。
在并行溫控優(yōu)勢方面，首先體現(xiàn)在溫度控制的同步性上。半導(dǎo)體封裝測試中，常需對同一批次的多個芯片或模塊進行相同或不同溫度條件的測試。雙通道直冷機可通過兩個通道同時輸出不同的目標溫度，如一個通道維持零下低溫環(huán)境，另一個通道保持常溫環(huán)境，且每個通道的控溫精度高，滿足不同測試場景的嚴苛要求。
其次，該設(shè)備具備快速響應(yīng)能力。其采用的電子膨脹閥可根據(jù)實時溫度反饋迅速調(diào)節(jié)制冷劑流量，配合PLC控制器及模糊PID算法，能夠?qū)崿F(xiàn)溫度的快速升降。在從常溫切換至低溫環(huán)境時，設(shè)備可在短時間內(nèi)完成溫度過渡，且波動幅度控制在允許范圍內(nèi)，縮短測試周期。
再者，雙通道設(shè)計具有方便的操作方式。操作員可通過彩色觸摸屏分別設(shè)定兩個通道的溫度、壓力及運行時間等參數(shù)，并實時監(jiān)控各通道的運行狀態(tài)。同時，設(shè)備支持以太網(wǎng)接口的TCP/IP協(xié)議，可接入工廠的中控系統(tǒng)實現(xiàn)遠程控制與數(shù)據(jù)記錄，便于批量測試的集中管理。
在應(yīng)用實踐中，雙通道直冷機已廣泛用于半導(dǎo)體封裝后的高低溫沖擊測試、熱循環(huán)測試等環(huán)節(jié)。在芯片封裝測試廠中，該設(shè)備同時對兩個批次的芯片進行寬泛的溫度循環(huán)測試，每個通道單獨記錄溫度變化曲線，測試完成后可通過U盤導(dǎo)出Excel格式的數(shù)據(jù)，為產(chǎn)品可靠性分析提供準確依據(jù)，滿足了部分特殊芯片的苛刻環(huán)境測試需求。
設(shè)備的安全性能同樣值得關(guān)注。其配備了相序斷相保護、壓力保護及過載繼電器等多重安全裝置，當某一通道出現(xiàn)異常時，系統(tǒng)會自動切斷該通道的運行并發(fā)出警告信號，不影響另一通道的正常工作，確保測試過程的連續(xù)性與安全性。
雙通道直冷機通過并行溫控設(shè)計、換熱的能力及靈活的操作方式，在半導(dǎo)體封裝測試中展現(xiàn)出應(yīng)用價值。其不僅提升了測試效率與數(shù)據(jù)準確性，也為半導(dǎo)體行業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供了可靠的溫控解決方案。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
詳細信息LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應(yīng)?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的?體即可達到?標低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出…
詳細信息AI系列循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)
適用范圍 運?于半導(dǎo)體設(shè)備?低溫測試。電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試冷熱源；獨?的制冷循環(huán)?機組；可連續(xù)?時間?作，?動除霜，除霜過程不影響庫溫； 模塊化設(shè)計，備?機替換容易（只要?臺備?機組即可）；解決頻繁開關(guān)?，蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題；蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。構(gòu)筑?套?低溫恒溫室變的簡單（根據(jù)提供的圖紙，像搭積??般拼接好箱體，連接好電和?，設(shè)…
詳細信息AET系列氣體快速溫變測試機
適用范圍 壓縮空?進??體快速溫變測試機，內(nèi)置有?燥器，預(yù)先把?體?燥到露點溫度-70度以下，進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體，對?標對象進?控溫（如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等），可根據(jù)遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫，?動調(diào)節(jié)輸出?體的溫度。 產(chǎn)品特點 Product Features …
詳細信息Dryer氣體干燥器
適用范圍 應(yīng)?于傳感器、半導(dǎo)體制造、薄膜和包裝材料執(zhí)照、粉狀物料運輸、噴涂系統(tǒng)、?品?業(yè)、制藥?業(yè)等需要實現(xiàn)-80℃低露點?燥和清潔的分布式?源。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應(yīng)用 APPLICATION 半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案 半導(dǎo)體封測工藝是…
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
詳細信息
一、三通道直冷機的工作原理與系統(tǒng)架構(gòu)
三通道直冷機的核心在于其多回路制冷系統(tǒng)，每個通道可單獨控制溫度，適用于需要同時處理多個不同溫區(qū)的場景。其制冷循環(huán)基于蒸氣壓縮原理，但相較于單通道直冷機，三通道系統(tǒng)采用多壓縮機并聯(lián)或復(fù)疊式制冷技術(shù)，確保各通道的制冷能力可單獨調(diào)節(jié)。
1、制冷循環(huán)分析
該制冷循環(huán)系統(tǒng)采用多通道控溫設(shè)計，各通道配備高性能變頻壓縮機，將氣態(tài)制冷劑壓縮至高溫高壓狀態(tài)；隨后制冷劑通過風(fēng)冷或水冷冷凝器進行放熱液化，部分機型采用板式換熱器以提升熱交換效率；系統(tǒng)通過電子膨脹閥準確調(diào)節(jié)制冷劑流量，確保蒸發(fā)溫度穩(wěn)定；制冷劑在目標設(shè)備內(nèi)直接蒸發(fā)吸熱，省去傳統(tǒng)載冷劑的中間傳熱環(huán)節(jié)，降低傳熱損失。
2、三通道控制機制
該三通道單獨控制系統(tǒng)為每個通道配置了高精度溫度傳感器和壓力變送器，實時準確監(jiān)測蒸發(fā)器運行狀態(tài)；系統(tǒng)采用PLC控制器，通過智能PID算法動態(tài)調(diào)節(jié)壓縮機轉(zhuǎn)速和電子膨脹閥開度，確保溫度控制精度穩(wěn)定。該設(shè)計使得三通道直冷機能夠同時處理不同溫區(qū)的制冷需求，在半導(dǎo)體測試中，可分別控制芯片、電源模塊和光學(xué)器件的冷卻溫度，避免傳統(tǒng)單通道系統(tǒng)因溫度失控導(dǎo)致的控溫偏差。
二、行業(yè)應(yīng)用分析
1、半導(dǎo)體制造與測試
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，三通道直冷機憑借其多通道控溫特性，廣泛應(yīng)用于晶圓刻蝕、芯片測試和封裝等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)：針對晶圓刻蝕工藝中不同反應(yīng)腔對特定低溫的差異化需求，三通道系統(tǒng)可實現(xiàn)各腔體的準確控溫；在進行高功率芯片可靠性測試時，系統(tǒng)可同時對供電模塊、信號處理單元和光學(xué)傳感器實施分區(qū)溫度管理，避免熱干擾問題；在芯片封裝過程的塑封和鍵合階段，通過為不同材料提供定制化溫控方案，提升了產(chǎn)品良率和工藝穩(wěn)定性，充分滿足半導(dǎo)體制造對溫度控制的高精度要求。
2、化工與制藥行業(yè)
在化工與制藥行業(yè)，三通道直冷機為工藝過程提供準確溫度管理解決方案：針對化學(xué)反應(yīng)釜的特殊工藝需求，系統(tǒng)可實現(xiàn)在低溫條件下安全引發(fā)聚合反應(yīng)，并快速切換至高溫維持合適的反應(yīng)速率；在醫(yī)藥凍干工藝中，通過單獨控制預(yù)凍、升華和解析三個關(guān)鍵階段的溫度參數(shù)，提升了效率和質(zhì)量，這種溫控能力使三通道直冷機成為化工制藥行業(yè)工藝優(yōu)化和設(shè)備升級的選擇。
3、新能源與汽車測試
在新能源與汽車測試領(lǐng)域，三通道直冷機展現(xiàn)出多工況模擬能力，解決了傳統(tǒng)單通道系統(tǒng)無法兼顧多溫區(qū)的技術(shù)難題，提升燃料電池系統(tǒng)的整體測試效率和能源利用率，為新能源研發(fā)驗證提供測試支持。
三通道直冷機憑借多回路控溫能力，在半導(dǎo)體、化工、醫(yī)藥、大型服務(wù)器及新能源等領(lǐng)域展現(xiàn)出較高的適用性。其直接蒸發(fā)換熱的原理減少了中間傳熱損失，結(jié)合變頻調(diào)節(jié)和智能控制算法，能夠滿足復(fù)雜工業(yè)場景下的準確溫控需求。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息ZLTZ直冷控溫機組Chiller
ZLTZ直冷控溫機組Chiller適合應(yīng)?于微通道反應(yīng)器、板式換熱器、冷板、熱沉板、管式反應(yīng)器等換熱?積?、制冷量?、溫差?的控溫需求場所；設(shè)備可?動回收導(dǎo)熱介質(zhì)；
詳細信息LTZ變頻系列低溫冷凍機組
適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機采用變頻技術(shù)，節(jié)約能耗，控溫范圍：-115℃～30℃，控溫精度：±0.5℃。變頻壓縮機組通過內(nèi)置變頻裝置隨時根據(jù)??冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運?轉(zhuǎn)速，從?避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，保持機組穩(wěn)定的?作狀態(tài)，達到節(jié)能效果。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Param…
詳細信息HLTZ系列氫氣高效換熱制冷機組
適用范圍 氫氣經(jīng)過內(nèi)高壓換熱器，制冷系統(tǒng)通過制冷劑直接與氫氣換熱，實現(xiàn)高效換熱控溫；設(shè)備本體采用正壓防爆系統(tǒng)，正壓系統(tǒng)內(nèi)置有恒溫器，確保系統(tǒng)環(huán)境維持在常溫。相對于傳統(tǒng)防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設(shè)備采用介質(zhì)為制冷系統(tǒng)制冷劑（相變熱），能效更高；內(nèi)置有可再生干燥機，確保正壓系統(tǒng)內(nèi)部干燥，沒有冷凝水；可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器（9…
詳細信息2度純水DI制冷控溫機組
適用范圍 特別適合生產(chǎn)過程中2℃~5℃DI水需求的應(yīng)用場景。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應(yīng)用 APPLICATION 新材料|特氣生產(chǎn)控溫解決方案 新材料，作為新近發(fā)展或正在發(fā)展的具有優(yōu)異性能的結(jié)構(gòu)材料和有特殊性質(zhì)的功能材料，其研發(fā)和生產(chǎn)過程對溫度控制有著…
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
詳細信息ZLJ/SLJ系列超低溫直冷機
適用范圍 將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進??標控制元件（換熱器）換熱，從?使?標控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體（?體）輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上，這樣特別適?于換熱器換熱?積?，但是換熱量?的運?場所。 也可以如?體捕集運?，將制冷劑直接通?捕集器蒸發(fā)，通過捕集器表?冷凝效應(yīng)，迅速捕集空間中的?體。 …
詳細信息真空控溫卡盤Chuck
冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FID調(diào)節(jié)控溫；支持直冷、液冷、?冷；
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
詳細信息帕爾貼Chiller
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；
詳細信息
一、熱力學(xué)原理與系統(tǒng)構(gòu)成
刻蝕直冷機etch chiller的工作基礎(chǔ)建立在蒸氣壓縮制冷循環(huán)之上，但其技術(shù)實現(xiàn)路徑與傳統(tǒng)間接冷卻方式存在本質(zhì)差異。制冷系統(tǒng)通過外界功實現(xiàn)熱量從低溫物體向高溫物體的轉(zhuǎn)移。直冷機的核心在于省卻了傳統(tǒng)冷卻系統(tǒng)中載冷劑這一中間傳熱介質(zhì)，采用制冷劑直接蒸發(fā)吸熱的原理，在目標控溫元件內(nèi)部完成相變換熱過程。
從系統(tǒng)構(gòu)成來看，刻蝕直冷機etch chiller包含四大功能模塊：壓縮單元采用多級復(fù)疊技術(shù)，通常由谷輪渦旋壓縮機組成，負責(zé)將氣態(tài)制冷劑加壓至高溫高壓狀態(tài)；冷凝單元通過風(fēng)冷或水冷方式使制冷劑液化；膨脹機構(gòu)采用電子膨脹閥實現(xiàn)制冷劑節(jié)流降壓；蒸發(fā)單元則直接集成在刻蝕設(shè)備的冷卻板內(nèi)部。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計特別適合于半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備中換熱面積有限但熱負荷較高的應(yīng)用場景。
二、準確控溫機制分析
半導(dǎo)體刻蝕工藝通常要求溫度控制精度達到規(guī)定范圍以內(nèi)，刻蝕直冷機etch chiller通過三項關(guān)鍵技術(shù)實現(xiàn)這一目標：在傳感器配置方面，系統(tǒng)在蒸發(fā)器進出口、壓縮機吸排氣端等多點布置PT100溫度傳感器和壓力變送器，實時監(jiān)測制冷劑狀態(tài)參數(shù)；熱力學(xué)設(shè)計方面，采用混合制冷劑，優(yōu)化蒸發(fā)溫度與刻蝕工藝需求的匹配度。
刻蝕直冷機etch chiller通過”高溫高壓制冷劑旁通回路”實現(xiàn)快速升溫功能，解決了傳統(tǒng)系統(tǒng)在變溫工況下響應(yīng)滯后的問題。這種設(shè)計使系統(tǒng)在高溫運行狀態(tài)下仍能迅速切換至低溫模式，升降溫速率較間接冷卻系統(tǒng)有所提升，滿足了刻蝕工藝中對快速溫度切換的需求。
三、半導(dǎo)體刻蝕中的技術(shù)適配性
在干法刻蝕應(yīng)用中，反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體產(chǎn)生大量瞬時熱負荷，傳統(tǒng)水冷系統(tǒng)因熱容限制常出現(xiàn)溫度超調(diào)。
濕法刻蝕對溫度要求更嚴謹，微小的偏差可能導(dǎo)致刻蝕速率變化超過規(guī)定范圍內(nèi)?？涛g直冷機etch chiller的蒸發(fā)溫度閉環(huán)控制配合變頻泵調(diào)節(jié)冷媒流量，確保了槽液溫度的均勻性。特別在深硅刻蝕等長時間工藝中，系統(tǒng)內(nèi)置的膨脹罐維持了制冷劑流量穩(wěn)定，避免了因熱負荷波動引起的刻蝕差異。
四、系統(tǒng)可靠性與維護特性
半導(dǎo)體制造對設(shè)備穩(wěn)定性的要求較為嚴格，刻蝕直冷機etch chiller從三個方面保障持續(xù)運行：在冗余設(shè)計上，關(guān)鍵部件如壓縮機、水泵采用并聯(lián)配置，支持在線切換；安全防護方面設(shè)置高壓保護、相序保護和漏液檢測等多重機制。
實際運行數(shù)據(jù)顯示，在連續(xù)工作條件下，刻蝕直冷機etch chiller配備的7英寸觸摸屏可記錄溫度曲線和警告信息，便于集成到半導(dǎo)體工廠的監(jiān)控系統(tǒng)。這種設(shè)計既滿足了晶圓廠對設(shè)備可追溯性的要求，也為預(yù)防性維護提供了數(shù)據(jù)支持。
刻蝕直冷機etch chiller憑借其直接換熱的原理優(yōu)勢，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。從熱力學(xué)角度看，該系統(tǒng)規(guī)避了傳統(tǒng)冷卻方式中的傳熱中間環(huán)節(jié)，實現(xiàn)了更快的熱響應(yīng)速度和更高的溫度穩(wěn)定性，以滿足半導(dǎo)體工業(yè)不斷演進的生產(chǎn)需求。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
詳細信息LQ系列氣體冷卻裝置
適用范圍 應(yīng)?于將?體（?腐蝕）降溫使?：如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的?體即可達到?標低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出…
詳細信息AI系列循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)
適用范圍 運?于半導(dǎo)體設(shè)備?低溫測試。電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試冷熱源；獨?的制冷循環(huán)?機組；可連續(xù)?時間?作，?動除霜，除霜過程不影響庫溫； 模塊化設(shè)計，備?機替換容易（只要?臺備?機組即可）；解決頻繁開關(guān)?，蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題；蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。構(gòu)筑?套?低溫恒溫室變的簡單（根據(jù)提供的圖紙，像搭積??般拼接好箱體，連接好電和?，設(shè)…
詳細信息AET系列氣體快速溫變測試機
適用范圍 壓縮空?進??體快速溫變測試機，內(nèi)置有?燥器，預(yù)先把?體?燥到露點溫度-70度以下，進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體，對?標對象進?控溫（如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等），可根據(jù)遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫，?動調(diào)節(jié)輸出?體的溫度。 產(chǎn)品特點 Product Features …
詳細信息Dryer氣體干燥器
適用范圍 應(yīng)?于傳感器、半導(dǎo)體制造、薄膜和包裝材料執(zhí)照、粉狀物料運輸、噴涂系統(tǒng)、?品?業(yè)、制藥?業(yè)等需要實現(xiàn)-80℃低露點?燥和清潔的分布式?源。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應(yīng)用 APPLICATION 半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案 半導(dǎo)體封測工藝是…
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
詳細信息一、三通道直冷機triple channel chiller的核心技術(shù)原理
1、壓縮制冷循環(huán)的基本原理
三通道直冷機triple channel chiller通常采用壓縮制冷循環(huán)，其基本原理是利用制冷劑的相變過程來吸收和釋放熱量。壓縮機將低壓氣態(tài)制冷劑壓縮成高壓氣態(tài)，使其溫度升高；然后高壓氣態(tài)制冷劑進入冷凝器，在其中與冷卻介質(zhì)進行熱交換，釋放熱量并冷凝成高壓液態(tài)；高壓液態(tài)制冷劑經(jīng)過膨脹閥節(jié)流降壓，變成低壓液態(tài)和氣態(tài)的混合物；低壓混合物進入蒸發(fā)器，在其中吸收被冷卻物體的熱量而汽化，從而實現(xiàn)制冷效果。這一循環(huán)過程不斷重復(fù)，以維持低溫環(huán)境。
2、復(fù)疊式制冷系統(tǒng)的技術(shù)特點
對于需要更低溫度的應(yīng)用場景，單級壓縮制冷循環(huán)往往難以滿足要求，此時常采用復(fù)疊式制冷系統(tǒng)。復(fù)疊式制冷系統(tǒng)由兩個或多個單級制冷循環(huán)組成，通過中間換熱器將高溫級和低溫級聯(lián)系起來，以滿足特殊工業(yè)過程的低溫需求。
二、三通道直冷機triple channel chiller關(guān)鍵部件的技術(shù)解析
1、壓縮機的選型與性能
壓縮機作為制冷機的核心部件之一，其性能直接影響整個系統(tǒng)的制冷效率和穩(wěn)定性。在三通道直冷機中，常用的壓縮機類型包括半封閉活塞壓縮機、螺桿壓縮機和渦旋壓縮機。半封閉活塞壓縮機具有結(jié)構(gòu)緊湊、可靠性高的特點，適用于中小型制冷系統(tǒng)；螺桿壓縮機則效率高、排氣量大的優(yōu)勢，適合大型制冷系統(tǒng)；渦旋壓縮機運行平穩(wěn)、響動低，在一些對要求較高的場合得到應(yīng)用。
2、換熱器的設(shè)計與優(yōu)化
換熱器是制冷機中實現(xiàn)熱量交換的關(guān)鍵部件之一，常見的換熱器類型有板式換熱器、殼管式換熱器和套管式換熱器。板式換熱器具有傳熱效率高、結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)點，在低溫制冷機中得到廣泛應(yīng)用。殼管式換熱器則具有結(jié)構(gòu)堅固、適應(yīng)性強的特點，適用于一些工況較為復(fù)雜的場合。
三、三通道直冷機triple channel chiller的選型指南
1、溫度范圍與制冷量的確定
在選型時，首先需要明確工藝所需的高低溫度和溫度控制精度。不同的工業(yè)應(yīng)用對溫度的要求差異較大，同時，還需要根據(jù)工藝過程的熱負荷計算所需的制冷量。制冷量的計算需要考慮被冷卻物體的發(fā)熱量、環(huán)境溫度、保溫條件等因素。
2、制冷劑的選擇
制冷劑的選擇是低溫制冷機選型的環(huán)節(jié)之一。選擇制冷劑時需要考慮其沸點、凝固點、臨界溫度、制冷效率、安全性以及對環(huán)境的影響等因素。
3、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與安全保護
根據(jù)安裝場地的空間大小和工藝要求，選擇合適的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)形式，如整體式或分體式。整體式制冷機結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便。同時，制冷機應(yīng)具備的安全保護裝置，如高壓保護、低壓保護、過載保護、斷相保護、超溫保護等，以確保設(shè)備的安全運行。
三通道直冷機triple channel chiller的選型只有通過科學(xué)合理的選型，才能選擇到適合工藝要求的低溫制冷機，為工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究提供可靠的低溫環(huán)境保障。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息LTZ變頻系列低溫冷凍機組
適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機采用變頻技術(shù)，節(jié)約能耗，控溫范圍：-115℃～30℃，控溫精度：±0.5℃。變頻壓縮機組通過內(nèi)置變頻裝置隨時根據(jù)??冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運?轉(zhuǎn)速，從?避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，保持機組穩(wěn)定的?作狀態(tài)，達到節(jié)能效果。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Param…
詳細信息HLTZ系列氫氣高效換熱制冷機組
適用范圍 氫氣經(jīng)過內(nèi)高壓換熱器，制冷系統(tǒng)通過制冷劑直接與氫氣換熱，實現(xiàn)高效換熱控溫；設(shè)備本體采用正壓防爆系統(tǒng)，正壓系統(tǒng)內(nèi)置有恒溫器，確保系統(tǒng)環(huán)境維持在常溫。相對于傳統(tǒng)防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設(shè)備采用介質(zhì)為制冷系統(tǒng)制冷劑（相變熱），能效更高；內(nèi)置有可再生干燥機，確保正壓系統(tǒng)內(nèi)部干燥，沒有冷凝水；可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器（9…
詳細信息2度純水DI制冷控溫機組
適用范圍 特別適合生產(chǎn)過程中2℃~5℃DI水需求的應(yīng)用場景。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 行業(yè)應(yīng)用 APPLICATION 新材料|特氣生產(chǎn)控溫解決方案 新材料，作為新近發(fā)展或正在發(fā)展的具有優(yōu)異性能的結(jié)構(gòu)材料和有特殊性質(zhì)的功能材料，其研發(fā)和生產(chǎn)過程對溫度控制有著…
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
詳細信息帕爾貼Chiller
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；
詳細信息
一、半導(dǎo)體行業(yè)行業(yè)挑戰(zhàn)
一方面，控溫精度不足，在低溫工況下易出現(xiàn)溫度回升現(xiàn)象，可能導(dǎo)致光刻膠形變或研磨液性能波動，進而影響工藝一致性；
另一方面，效率低下，能耗較高，且由于控溫精度不足，可能導(dǎo)致原料浪費與生產(chǎn)成本增加。這些問題已然成為制約半導(dǎo)體材料有效生產(chǎn)的關(guān)鍵因素。
冠亞恒溫聚焦半導(dǎo)體行業(yè)的控溫需求，憑借其高精度的溫控解決方案以及創(chuàng)新技術(shù)優(yōu)勢，幫助企業(yè)達成更有效、更穩(wěn)定的生產(chǎn)目標。
二、半導(dǎo)體行業(yè)控溫解決方案
半導(dǎo)體溫控設(shè)備Chiller適用于集成電路、半導(dǎo)體顯示等行業(yè)，溫控設(shè)備可在工藝制程中準確控制反應(yīng)腔室溫度，是一種用于半導(dǎo)體制造過程中對設(shè)備或工藝進行冷卻的裝置，其工作原理是利用制冷循環(huán)和熱交換原理，通過控制循環(huán)液的溫度、流量和壓力，帶走半導(dǎo)體工藝設(shè)備產(chǎn)生的熱量，從而實現(xiàn)準確的溫度控制，確保半導(dǎo)體制造過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
三、半導(dǎo)體溫控Chiller核心產(chǎn)品
FLTZ變頻單通道Chiller
?介紹應(yīng)用：應(yīng)?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺等
?溫度范圍：-100℃~+90℃，控溫精度±0.05℃
?技術(shù)亮點：變頻泵可調(diào)整循環(huán)液壓?、流量；智能變頻節(jié)能控制，降低使用能耗；?持?標定制，?持PC遠程控制
FLTZ系列雙通道Chiller
?介紹應(yīng)用：應(yīng)?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺等
?控溫范圍：-45℃~+90℃，控溫精度：±0.1℃
?技術(shù)亮點：系統(tǒng)支持雙通道獨立控制溫度、流量壓力；采用變頻控溫技術(shù)，可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品
FLTZ變頻三通道Chiller
?介紹應(yīng)用：應(yīng)?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺等
?控溫范圍：-20℃～+100℃，控溫精度：±0.1℃
?技術(shù)亮點：三通道整合，支持每個通道獨立控溫范圍、導(dǎo)熱介質(zhì)流量；深化性能開發(fā)，匹配刻蝕工藝需求
面板Chiller
?介紹應(yīng)用：應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等
?控溫范圍：+15~+30℃，控溫精度±0.05℃
?技術(shù)亮點：高揚程設(shè)計?持?流量?負載，確保嚴苛?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；智能變頻節(jié)能控制，減少?效能耗；符合三通道?藝設(shè)計要求，確保信號/流體的獨?傳輸與準確控制
ETCU換熱控溫單元
?介紹應(yīng)用：應(yīng)用于PVD、CVD、PECVD、ALD?藝等
?冷卻?溫度范圍：+5℃~+90℃，控溫精度±0.05℃
?技術(shù)亮點：系統(tǒng)?壓縮機，通過換熱降溫；?持?標定制，?持PC遠程控制
四、為什么選擇冠亞恒溫？
1、深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域：服務(wù)半導(dǎo)體后道生產(chǎn)流程工藝中，覆蓋半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫、半導(dǎo)體封測工藝過程控溫。
2、定制化服務(wù)能力：依托模塊化平臺，提供標準化與個性化結(jié)合的解決方案。
五、冠亞恒溫半導(dǎo)體溫控Chiller溫控系統(tǒng)技術(shù)優(yōu)勢
1、變頻技術(shù)與節(jié)能：采用變頻技術(shù)，結(jié)合精心設(shè)計的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和自主開發(fā)的控制算法，能夠準確調(diào)節(jié)壓縮機的輸出頻率。在滿足制程需求的前提下，降低能耗，為企業(yè)節(jié)省運營成本。
2、全密閉式系統(tǒng)：采用全密閉設(shè)計，有效杜絕油霧和異味產(chǎn)生，延長導(dǎo)熱液體的使用壽命。
3、快速加熱與制冷：參與循環(huán)的導(dǎo)熱液體量少，使得加熱和制冷速度大幅提升。響應(yīng)速度快，能夠及時適應(yīng)工藝過程中的溫度調(diào)整需求。
4、模塊化設(shè)計：系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，安裝和移動都十分便捷。這種設(shè)計使得設(shè)備能夠靈活適應(yīng)不同的生產(chǎn)場地和工藝布局，為企業(yè)節(jié)省空間和安裝成本。
5、智能監(jiān)控與診斷：可同時監(jiān)控、設(shè)定和控制流量、泵壓、溫度等參數(shù)，實時顯示運行狀態(tài)。設(shè)備具備故障自動診斷功能，并擁有多項報警保護功能，能夠提前預(yù)警潛在問題，保障生產(chǎn)的連續(xù)性和穩(wěn)定性。
6、控制重復(fù)性與穩(wěn)定性：基于動態(tài)控制系統(tǒng)，確保每次控制結(jié)果的一致性，有效提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。
7、自適應(yīng)PID控制：采用自適應(yīng)PID算法，能夠自動適應(yīng)不同的環(huán)境和負載條件，無需人工調(diào)整參數(shù)，這大大降低了操作難度和維護成本，提高了設(shè)備的智能化水平。
溫度控制是半導(dǎo)體制造過程中一項重要的工藝環(huán)節(jié)。冠亞恒溫半導(dǎo)體溫控Chiller憑借技術(shù)創(chuàng)新作為發(fā)展動力，通過提供準確、穩(wěn)定且有效的溫控系統(tǒng)，協(xié)助企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程，降低資源消耗，推動企業(yè)實現(xiàn)高質(zhì)量的制造生產(chǎn)。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
詳細信息單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
詳細信息三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
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