半導(dǎo)體chiller制冷機(jī)適用于工藝制程中準(zhǔn)確控制反應(yīng)腔室溫度，是一種用于半導(dǎo)體制造過程中對設(shè)備或工藝進(jìn)行冷卻的裝置。冠亞恒溫可為其提供了定制化的半導(dǎo)體Chiller解決方案。該方案采用了制冷技術(shù)和智能控制系統(tǒng)，能夠根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需求自動調(diào)節(jié)制冷量，確保生產(chǎn)環(huán)境始終保持在適合溫度范圍內(nèi)。
推薦產(chǎn)品chiller
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雙通道系列 Dual Channel Chiller
- 參數(shù)標(biāo)題參數(shù)內(nèi)容
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。
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單通道系列 Single Channel Chiller
- 參數(shù)標(biāo)題參數(shù)內(nèi)容
FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
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三通道系列 Triple Channel Chiller
- 參數(shù)標(biāo)題參數(shù)內(nèi)容
FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，系統(tǒng)支持三個通道獨(dú)立控溫，每個通道有獨(dú)立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
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面板系列Panel Chiller
- 參數(shù)標(biāo)題參數(shù)內(nèi)容
面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負(fù)載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷，實(shí)時調(diào)節(jié)?溫。
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目前冠亞恒溫半導(dǎo)體chiller制冷機(jī)按照不同產(chǎn)品類型，包括單通道和雙通道，主要有FLTZ變頻單通道系列（-100℃~+90℃）、FLTZ變頻多通道系列（-45℃~+90℃）、無壓縮機(jī)系列ETCU換熱控溫單元（+5℃-+90℃）
半導(dǎo)體行業(yè)投入大，制造工序繁多。冠亞恒溫半導(dǎo)體chiller制冷機(jī)幫助客戶在每個環(huán)節(jié)進(jìn)行嚴(yán)格的質(zhì)量把控，提供高穩(wěn)定性的溫度控制，保障產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性。
冠亞恒溫?fù)碛谐^14年的溫度控制經(jīng)驗(yàn)和與各行業(yè)配套的經(jīng)驗(yàn)，為客戶提供標(biāo)準(zhǔn)化和定制化的溫度控制產(chǎn)品，結(jié)合專業(yè)技術(shù)知識，確保滿足半導(dǎo)體工藝中的苛刻溫度要求。